• 砷化鎵（GaAs）晶圓的光刻膠殘留

  光刻膠的殘留在不同外延基板上處理工藝也不同，玻璃基板或者藍寶石就會抗造一點，砷化鎵、磷化銦等就要避免酸堿。

  芯片工藝技術

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  04/22 10:00

  光刻膠 砷化鎵

  
• GaAs芯片的表面工藝異常問題

  一、砷化鎵表面存在氧化層。GaAs屬于閃鋅礦結構，具有立方晶系Fm3m空間群，晶胞參數為5.646 ?。Ga原子位于晶胞的頂點，As原子位于晶胞的面心和體內，形成四面體結構。

  芯片工藝技術

  1850

  02/18 09:50

  砷化鎵 GaAs

  

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