• 如何抑制GAA寄生溝道

  GAA（Gate-All-Around）結(jié)構(gòu)作為一種三維晶體管結(jié)構(gòu)，已被廣泛應(yīng)用于先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)。然而，GAA結(jié)構(gòu)通常存在寄生溝道問題，會對器件性能和可靠性產(chǎn)生負(fù)面影響。本文將介紹如何有效抑制GAA寄生溝道問題。

  eefocus_3901714

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  03/24 15:26

  GAA技術(shù)
• GAA器件模型是什么？遇到了哪些挑戰(zhàn)

  3納米工藝節(jié)點(diǎn)中的GAA晶體管帶來了顯著的技術(shù)挑戰(zhàn)。提取電氣特性需要新的方法和工具，以應(yīng)對其復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)和對工藝變異的敏感性。同時(shí)，新的物理失效模式也需要在設(shè)計(jì)和制造過程中加以重視，以確保晶體管的可靠性和性能。3納米晶圓制造工藝中的“Gate all-around (GAA) transistors”所帶來的新提取要求和物理失效模式是一個(gè)復(fù)雜的問題。

  老虎說芯

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  01/15 16:46

  3nm工藝 GaA

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