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納米壓印光刻

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NIL(Nano-Imprint Lithography),壓印本質(zhì)上從本質(zhì)上是一種印刷復制技術,是將模板進行大量復制的技術。壓印技術加工技術根據(jù)圖形尺寸的大小可分為納米壓印技術和模壓技術。最初提出的納米壓印技術為熱壓印納米技術和室溫納米壓印技術。

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