• 光罩國產(chǎn)化：五年變了天地

  自2020年以來，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化水平得到了飛速地提升，近日由工信部站臺推廣的ArF干式光刻機(jī)便是一例。同樣在光刻材料的國產(chǎn)化中，光罩的國產(chǎn)化也十分引人矚目。可以說在這五年里，中國大陸地區(qū)的本土光罩廠走過了從邊緣到核心，從0.13微米到14納米的蛻變和進(jìn)化。

  半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫

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  01/26 14:22

  光罩

  

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