XPS是X射線光電子能譜的縮寫，是一種表面分析技術(shù)。通過照射樣品表面并測(cè)量材料所發(fā)出的電子能譜，可以得出材料表面的化學(xué)成份、化學(xué)鍵狀態(tài)、表面形貌信息等。

1.XPS是什么意思

XPS，全稱為X-ray photoelectron spectroscopy（X射線光電子能譜），是用于表面分析的技術(shù)，利用X射線激發(fā)樣品表面，并測(cè)量材料所發(fā)出的電子能譜，從而確定表面元素的化學(xué)狀態(tài)及其他相關(guān)信息。

2.X射線光電子能譜分析原理

XPS利用X射線穿過薄樣品，使得樣品中的元素原子吸收掉入射X射線的光子能量，并將產(chǎn)生了空心能級(jí)的原子電離。這時(shí)的電子被稱作光電子。由于每個(gè)元素原子的電子結(jié)構(gòu)不同，因此它對(duì)光子吸收和電離的條件也有所不同，能譜分析器采用光電子能譜衡量被激發(fā)的原子電離速率和能量，因此可以確定元素的化學(xué)狀態(tài)與化合價(jià)。

3.X射線光電子能譜分析特點(diǎn)

相比于傳統(tǒng)的表面分析技術(shù)，XPS具有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)：

• 非破壞性分析：XPS在分析時(shí)不需要對(duì)樣品進(jìn)行任何加工處理，所以不會(huì)對(duì)樣品造成任何損傷，保持樣品完整性。
• 高靈敏度：XPS可檢出微量元素含量，其測(cè)量精度可以達(dá)到0.1%～1%。
• 表面化學(xué)信息豐富：XPS可以得到物質(zhì)的化學(xué)狀態(tài)、化合價(jià)及電荷分布等詳細(xì)信息。
• 定性分析：由于原子級(jí)別的解析度，可以用XPS區(qū)分不同元素的化學(xué)狀態(tài)和化合價(jià)，從而實(shí)現(xiàn)材料的定性分析。