真空傳感器是一種用于測量低壓或超高真空度的儀器設(shè)備。它可以檢測氣體壓強(qiáng)，作為真空系統(tǒng)的重要組成部分，廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、電子、航空航天等領(lǐng)域。

1.真空傳感器工作原理

真空傳感器通常使用熱陰極和陽極之間火花放電的原理來實(shí)現(xiàn)氣體檢測。當(dāng)氣體通過傳感器感受器內(nèi)的電場時(shí)，其會(huì)導(dǎo)致電離現(xiàn)象并觸發(fā)火花放電，火花電流和氣體密度成正比。

2.真空傳感器的技術(shù)參數(shù)

真空傳感器的主要技術(shù)參數(shù)包括靈敏度、線性度、響應(yīng)時(shí)間、分辨率等。不同類型的真空傳感器有著不同的技術(shù)參數(shù)，根據(jù)具體應(yīng)用需求選擇適合的真空傳感器十分關(guān)鍵。

3.真空傳感器分類

按照測量原理和工作方式，真空傳感器可以分為：冷陰極離子化真空計(jì)、熱陰極離子化真空計(jì)、熱電偶真空計(jì)、毛細(xì)流體真空計(jì)等多種類型。不同的真空計(jì)詳見具體說明。