俄歇電子能譜是一種重要的表征物質(zhì)分子和固體表面結(jié)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)手段。它通過測(cè)量由光或電子激發(fā)后產(chǎn)生的電子能譜來研究物質(zhì)的電子結(jié)構(gòu)、化學(xué)鍵性質(zhì)以及反應(yīng)動(dòng)力學(xué)等。

1.俄歇電子能譜基本原理

俄歇電子能譜利用電子從材料表面逸出時(shí)所釋放的能量，可以反映材料的電子結(jié)構(gòu)信息。其基本原理是在樣品表面照射高能電子或光子，電子與原子相互作用后，將部分能量轉(zhuǎn)移給另一個(gè)電子，使其逸出并形成俄歇電子，同時(shí)被激發(fā)的電子會(huì)留下空位。通過測(cè)量逸出電子的動(dòng)能和角度分布，可以確定表面狀態(tài)密度、元素組成、電子束縛能等信息。

2.俄歇電子能譜發(fā)展背景

20世紀(jì)60年代，隨著積分電路和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，俄歇電子能譜成為了研究表面科學(xué)領(lǐng)域的強(qiáng)有力工具。1977年，德國(guó)科學(xué)家瓦爾特·克魯斯(Wolfgang Kruse)和J·W·薩夫茨基(J.W. Savitsky)發(fā)明了望遠(yuǎn)鏡式俄歇電子能譜儀，使得分辨率和靈敏度大幅提高，為今后的研究奠定了基礎(chǔ)。

3.俄歇電子能譜儀器分類

按運(yùn)用范圍和技術(shù)特點(diǎn)分類，主要有平面俄歇電子能譜(PES)、角度分辨光電電子能譜(ARUPS)、時(shí)間分辨俄歇光電子能譜(TRPES)等。此外，常見的俄歇電子能譜儀包括帶能量分析器的電子能譜儀和飛行時(shí)間質(zhì)譜儀。