作為設(shè)計(jì)和生產(chǎn)創(chuàng)新性半導(dǎo)體材料的全球領(lǐng)軍企業(yè)，法國 Soitec 半導(dǎo)體公司正式宣布選用 KLA 公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）的檢測技術(shù)，實(shí)現(xiàn)碳化硅 （SiC） 器件的高良率。KLA 公司是工藝控制和先進(jìn)檢測系統(tǒng)領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)。

Soitec 利用其獨(dú)特的專利技術(shù) SmartSiC™ 生產(chǎn)碳化硅優(yōu)化襯底，助力提升電力電子設(shè)備的性能以及電動汽車的能效。

Soitec 采用 KLA 檢測設(shè)備為 SOI 晶圓取得了卓越的成果?；诖?，Soitec 進(jìn)一步拓展與 KLA 的合作，在其 SmartSiC™ 晶圓上采用了 KLA 的 Surfscan® SP A2 無圖案晶圓檢測系統(tǒng)。

Soitec 的 SmartSiC™ 晶圓具備了卓越且獨(dú)特的晶體質(zhì)量，而 KLA 的 Surfscan® SP A2 檢測系統(tǒng)可利用 DUV 光學(xué)和先進(jìn)算法，進(jìn)一步提升對襯底的質(zhì)量控制。這種合作伙伴關(guān)系將使 SiC 襯底生產(chǎn)達(dá)到新的甚至更高的水平，助推行業(yè)發(fā)展，加速高質(zhì)量碳化硅在汽車市場的應(yīng)用。

2022 年 3 月，Soitec 宣布在法國貝寧總部建設(shè)新的貝寧 4 號晶圓廠，主要用于生產(chǎn) 150mm 和 200mm 的 SmartSiC™ 晶圓。貝寧 4 廠預(yù)計(jì)將于 2023 年下半年投入運(yùn)營。

Soitec 首席技術(shù)官 Christophe Maleville 表示：“將我們獨(dú)特的 SmartSiC™ 優(yōu)化襯底與 KLA 的檢測和計(jì)量系統(tǒng)相結(jié)合，可以使 Soitec 的襯底質(zhì)量優(yōu)化至新的高度，提升客戶生產(chǎn)的良率。KLA 的檢測系統(tǒng)與我們最重要的 SOI 技術(shù)結(jié)合，發(fā)揮出巨大的潛力?，F(xiàn)在，我們這一創(chuàng)新的結(jié)果拓展，與我們?yōu)槠囐x能的創(chuàng)新技術(shù) SmartSiC™ 結(jié)合。這將助力我們提升生產(chǎn)效率，滿足電動汽車市場不斷增長的需求，為客戶提供更多附加值。”

KLA 的 Surfscan、ADE 和 ECI 部門經(jīng)理 Jijen Vazhaeparambil 表示：“KLA 高度重視與客戶的合作和對研發(fā)的投入。因?yàn)閺闹形覀兡軌颢@得相關(guān)的專業(yè)知識及技術(shù)，從而準(zhǔn)時(shí)高效地交付客戶所需的工藝控制解決方案。通過與 Soitec 的密切合作，我們世界一流的 Surfscan 檢測技術(shù)被成功地應(yīng)用在了寬禁帶襯底領(lǐng)域。Surfscan® SP A2 系統(tǒng)可提供 Soitec 所需的靈敏度和產(chǎn)能，將幫助 Soitec 進(jìn)一步提升其碳化硅和其他寬禁帶襯底的質(zhì)量，滿足更嚴(yán)苛的要求。” 

Surfscan® 是 KLA 公司的注冊商標(biāo)。