我第一份工作是在國內(nèi)某晶圓廠里做CVD工藝工程師，所以也接觸和使用過膜厚量測設(shè)備。當時覺得光學(xué)膜厚量測的原理比較簡單，技術(shù)難度不是很高但后來和行業(yè)專家交流以后，才知道真對各種類型的薄膜，要保證量測的精度，技術(shù)上也不是那么容易。尤其是下層薄膜也是透明膜時，薄膜間的界面的區(qū)分和處理也是難點...

所以今天就順手整理一個膜厚的量測設(shè)備供應(yīng)商數(shù)據(jù)：包含介質(zhì)膜和不透明金屬膜兩大類，四種技術(shù)路徑

以下為英文縮寫的名詞解釋：

XRR?:??X-ray Reflectivity?X射線反射率

XRF: ?X-ray Fluorescence?X射線熒光光譜分析

本文表格內(nèi)容的詳細數(shù)據(jù)（整合在全球晶圓量檢測設(shè)備供應(yīng)商數(shù)據(jù)文檔里）的原始文檔，我放到了知識星球的云盤上供會員使用。如果您對此類數(shù)據(jù)有興趣，歡迎加入我的知識星球后獲取 -- 文章最后有加入方式

以下為原始表格截圖：包含142家供應(yīng)商、49類設(shè)備信息

我收集了近十年的行業(yè)數(shù)據(jù)已經(jīng)覆蓋了八成以上半導(dǎo)體制造上游的供應(yīng)鏈鏈，還有大量的原創(chuàng)行業(yè)景氣度數(shù)據(jù)分析和研報。現(xiàn)在所有數(shù)據(jù)原始文檔都貢獻出來，給你個一鍋端走的機會(云盤直接同步我電腦硬盤隨時更新)另外還有大量的線上半導(dǎo)體知識講座

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