一提量檢測設(shè)備，大多數(shù)人想到的都是缺陷、膜厚、線寬、套刻精度等。但是事實上量測的范圍非常廣泛，晶圓形貌量測也是一個重要的環(huán)節(jié)

宏觀/3D幾何主要是量測晶圓整體的翹曲程度而微觀主要是量測局部的平整度AFM全稱Atomic Force Microscope，屬于納米區(qū)域的物理性質(zhì)包括形貌探測臺階測試儀是針對非透明的薄膜，用實體探針量測臺階高低（膜厚）

我整理了一下手頭的數(shù)據(jù)，全球總共44家供應(yīng)商，39家在中國大陸，幾乎占了2三分之二。其實這個領(lǐng)域的市場空間也不是特別大，居然擠了這么多國產(chǎn)設(shè)備商，也是出乎我的意料歡迎行業(yè)朋友參考一下。如果發(fā)現(xiàn)問題，請和我私信交流

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