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納米壓印光刻

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NIL(Nano-Imprint Lithography)，壓印本質(zhì)上從本質(zhì)上是一種印刷復(fù)制技術(shù)，是將模板進(jìn)行大量復(fù)制的技術(shù)。壓印技術(shù)加工技術(shù)根據(jù)圖形尺寸的大小可分為納米壓印技術(shù)和模壓技術(shù)。最初提出的納米壓印技術(shù)為熱壓印納米技術(shù)和室溫納米壓印技術(shù)。

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