• 碳化硅襯底修邊處理后，碳化硅襯底TTV變化管控

  ??一、碳化硅襯底修邊處理的作用與挑戰(zhàn)修邊處理是碳化硅襯底加工中的一個(gè)關(guān)鍵步驟，主要用于去除襯底邊緣的毛刺、裂紋和不規(guī)則部分，以提高襯底的尺寸精度和邊緣質(zhì)量。然而，修邊過程中由于機(jī)械應(yīng)力、熱應(yīng)力以及工藝參數(shù)的精確控制難度，往往會(huì)導(dǎo)致襯底表面TTV的變化，進(jìn)而影響后續(xù)加工工序和最終產(chǎn)品的性能。?二、影響修邊處理后TTV變化的關(guān)鍵因素修邊工藝：修邊工藝的選擇直接影響TTV的變化。不同的修邊工藝，如機(jī)械

  萬智光學(xué)

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  2024/12/27

  碳化硅 半導(dǎo)體晶圓

  

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