成人免费无码不卡毛片,亚洲AⅤ无码精品一区二区三区,国产尤物精品视频,久久精品日本亚洲,欧美成人一区三区无码乱码A片,中文字日产幕码一区二区色哟哟,亞洲日韓中文字幕網AV

干法刻蝕

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

干法刻蝕是用等離子體進(jìn)行薄膜刻蝕的技術(shù)。當(dāng)氣體以等離子體形式存在時(shí)，它具備兩個(gè)特點(diǎn)：一方面等離子體中的這些氣體化學(xué)活性比常態(tài)下時(shí)要強(qiáng)很多，根據(jù)被刻蝕材料的不同，選擇合適的氣體，就可以更快地與材料進(jìn)行反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)刻蝕去除的目的；另一方面，還可以利用電場(chǎng)對(duì)等離子體進(jìn)行引導(dǎo)和加速，使其具備一定能量，當(dāng)其轟擊被刻蝕物的表面時(shí)，會(huì)將被刻蝕物材料的原子擊出，從而達(dá)到利用物理上的能量轉(zhuǎn)移來實(shí)現(xiàn)刻蝕的目的。因此，干法刻蝕是晶圓片表面物理和化學(xué)兩種過程平衡的結(jié)果。

干法刻蝕是用等離子體進(jìn)行薄膜刻蝕的技術(shù)。當(dāng)氣體以等離子體形式存在時(shí)，它具備兩個(gè)特點(diǎn)：一方面等離子體中的這些氣體化學(xué)活性比常態(tài)下時(shí)要強(qiáng)很多，根據(jù)被刻蝕材料的不同，選擇合適的氣體，就可以更快地與材料進(jìn)行反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)刻蝕去除的目的；另一方面，還可以利用電場(chǎng)對(duì)等離子體進(jìn)行引導(dǎo)和加速，使其具備一定能量，當(dāng)其轟擊被刻蝕物的表面時(shí)，會(huì)將被刻蝕物材料的原子擊出，從而達(dá)到利用物理上的能量轉(zhuǎn)移來實(shí)現(xiàn)刻蝕的目的。因此，干法刻蝕是晶圓片表面物理和化學(xué)兩種過程平衡的結(jié)果。收起

查看更多
暫無相關(guān)內(nèi)容，為您推薦以下內(nèi)容

正在努力加載...

广元市| 枝江市| 天气| 丰县| 通江县| 巴林左旗| 龙江县| 罗甸县| 新安县| 鄂托克旗| 通海县| 克东县| 保亭| 衡东县| 柳江县| 横峰县| 甘谷县| 托里县| 东城区| 沁源县| 石林| 延长县| 兴宁市| 新乡县| 平塘县| 蓬安县| 铁力市| 岳池县| 青神县| 宝坻区| 滕州市| 富锦市| 辽阳市| 太原市| 新营市| 同江市| 沂源县| 大名县| 定边县| 迭部县| 绥棱县|