微機(jī)電系統(tǒng)，簡稱MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems），指的是微米級別下制造的微型電子機(jī)械系統(tǒng)。它集成了微型傳感器、微處理器和微機(jī)械構(gòu)件等多種功能單元，具有體積小、功耗低、可靠性高、成本低等特點，被廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)、醫(yī)療設(shè)備、安防系統(tǒng)、智能家居等領(lǐng)域。

1.微機(jī)電系統(tǒng)的分類

按照不同的分類方法，微機(jī)電系統(tǒng)可以分為以下幾類：

• 按工作原理分類：壓力式、容積式、慣性式、光學(xué)式、生化式等。
• 按運動方式分類：平移式、旋轉(zhuǎn)式、彎曲式、振蕩式等。
• 按應(yīng)用場景分類：加速度計、陀螺儀、血壓計、麥克風(fēng)、投影儀等。

2.微機(jī)電系統(tǒng)的特點

微機(jī)電系統(tǒng)具有以下幾個顯著的特點：

1. 體積?。河捎诓捎梦⒚准壷圃旃に?，微機(jī)電系統(tǒng)可以制作成極小的尺寸。
2. 低功耗：微機(jī)電系統(tǒng)由于工作電壓比較低，所以功率消耗也較低，延長了電池壽命。
3. 高精度：微機(jī)電系統(tǒng)采用全部微米級制造工藝，大大提高了精度。
4. 可靠性高：微機(jī)電系統(tǒng)主要用于剛性物體之間的相對運動測量，其結(jié)構(gòu)簡單、不易損壞，從而保證了其可靠性。
5. 成本低廉：微機(jī)電系統(tǒng)采用批量生產(chǎn)方式，可以在同一個晶圓上同時制造多個芯片，從而降低成本，逐漸被廣泛應(yīng)用。