CINNO Research 產(chǎn)業(yè)資訊，美國紐約州 Plainview 市的外延沉積和工藝設(shè)備制造商 Veeco Instruments Inc. 近日表示，其 Propel 300 HVM 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）系統(tǒng)已被法國格勒諾布爾的 Aledia（3D 開發(fā)和制造商）選用。結(jié)合其專有的氮化硅納米線技術(shù)，Aledia 可以基于上述 MOCVD 系統(tǒng)生產(chǎn)高分辨率的 Micro-LED 顯示面板。另據(jù) Aledia 稱，Propel 系統(tǒng)具有設(shè)備半兼容的前端模塊（EFEM）和盒對(duì)盒（cassette-to-cassette）自動(dòng)控制功能，與其他競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)相比，其生產(chǎn)效率最高，缺陷率最低，這也是它被選中的原因。

Veeco 的 Propel 300 HVM MOCVD 系統(tǒng)根據(jù)外媒 semiconductor-today 報(bào)道，“亮度，對(duì)比度，響應(yīng)時(shí)間和功率效率等參數(shù)對(duì)智能手表，移動(dòng)設(shè)備，AR / VR（增強(qiáng)現(xiàn)實(shí) / 虛擬現(xiàn)實(shí)）應(yīng)用和大型電視用顯示面板非常重要，這些參數(shù)正在推動(dòng)市場(chǎng)對(duì) Micro-LED 解決方案需求的增加，”Aledia 首席運(yùn)營官 Francis 指出，“作為我們記錄工藝過程的工具，我們相信 Veeco 的 Propel 300 HVM 平臺(tái)具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，它可以在實(shí)現(xiàn)目前世界最大產(chǎn)量的同時(shí)提供出色的過程管控功能，再者，他們支持產(chǎn)品創(chuàng)新的履歷也是我們選擇其產(chǎn)品的理由。”由于具有更高的分辨率，亮度和可靠性，Micro-LED 正在成為下一代顯示技術(shù)。市場(chǎng)研究公司 TrendForce 預(yù)計(jì)，Micro-LED 晶圓的產(chǎn)量將從 2021 年的 74,000 個(gè)晶片增加到 2024 年的 500 萬個(gè)以上。

Veeco 首席營銷官 Scott Kroeger 表示：“我們很高興再次被先進(jìn)顯示技術(shù)的真正先驅(qū) Aledia 選中，進(jìn)而可以提供業(yè)界首款 300mm MOCVD 工具來支持其 micro-LED 顯示面板的生產(chǎn)?！薄癡eeco 一直都致力于將化合物半導(dǎo)體的專業(yè)知識(shí)與半導(dǎo)體規(guī)模制造相結(jié)合，這一點(diǎn)在具有 EFEM 功能的 300mm 晶圓系統(tǒng)平臺(tái)上得到了充分的體現(xiàn)，”他補(bǔ)充說，“與 Aledia 等領(lǐng)先公司的緊密合作，進(jìn)而在生產(chǎn)規(guī)模上提供更好的解決方案，這一點(diǎn)已經(jīng)嵌入了我們的 DNA 中?！盫eeco 表示，其單晶圓 Propel 300 HVM GaN MOCVD 系統(tǒng)是一種為 GaN 基高級(jí)顯示器、功率電源、RF 和光子學(xué)設(shè)備設(shè)計(jì)的，大批量生產(chǎn)的單晶圓反應(yīng)器集群系統(tǒng)。該系統(tǒng)具有單晶圓反應(yīng)器平臺(tái)，它能夠在 300mm 晶圓基礎(chǔ)上提供高質(zhì)量的外延膜性能，這一點(diǎn)可以幫助制造商獲得最佳的均勻性，可重復(fù)性和良率。另外，Propel 300 HVM 還可配置模塊化群集室（Cluster Chambers），以實(shí)現(xiàn)最大的生產(chǎn)率和靈活性。