PRS（Process Release Standard） 是指工藝放行的標(biāo)準(zhǔn)，用于判斷某個(gè)工藝步驟是否滿足生產(chǎn)要求、是否可以進(jìn)入下一個(gè)流程。它是一套明確的準(zhǔn)則，通常涉及工藝形貌、關(guān)鍵參數(shù)、測(cè)量指標(biāo)等。

PRS 的作用

PRS 的核心目標(biāo)是確保工藝的每一步都達(dá)標(biāo)，避免缺陷傳遞到后續(xù)步驟，從而保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

類比解釋

就像考試的及格線：

每個(gè)工藝步驟完成后，需要達(dá)到一定的“分?jǐn)?shù)”才能通過(guò)（即符合 PRS 標(biāo)準(zhǔn)）。

如果低于標(biāo)準(zhǔn)，就像考試不及格，需要重新修正或者返工。

PRS 的關(guān)鍵要素

形貌檢查：

檢查晶圓或產(chǎn)品表面的外觀形態(tài)是否符合預(yù)期，例如是否有劃痕、顆粒、邊緣缺陷等。

類比：就像藝術(shù)品完成后要檢查表面是否光滑無(wú)裂痕。

工藝參數(shù)：

核心指標(biāo)如尺寸（CD）、厚度、均勻性是否在規(guī)格范圍內(nèi)。

類比：就像裁縫要確認(rèn)衣服的每一個(gè)尺寸都符合客戶需求。

功能驗(yàn)證：

某些情況下，需要進(jìn)行性能測(cè)試（如電氣特性）以確保達(dá)標(biāo)。

類比：就像產(chǎn)品的最終驗(yàn)收，測(cè)試它是否能正常工作。

PRS 的執(zhí)行流程

定義標(biāo)準(zhǔn)：

預(yù)先明確每個(gè)工藝步驟的放行要求（如形貌、尺寸范圍）。

檢測(cè)與確認(rèn)：

使用設(shè)備（如顯微鏡、CD-SEM）或工具對(duì)工藝結(jié)果進(jìn)行檢查。

決定放行：

如果符合 PRS 標(biāo)準(zhǔn)，允許進(jìn)入下一步工藝；不符合則需返工或停產(chǎn)分析。

總結(jié)。PRS 是工藝的質(zhì)量關(guān)卡，就像每道門的“門票”，通過(guò)后才能繼續(xù)往前。它確保每一步工藝結(jié)果都符合要求，避免問(wèn)題累積，最終影響產(chǎn)品質(zhì)量。