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哪些制程會(huì)用到電鍍工序?

2024/09/24
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知識(shí)星球(星球名:芯片制造與封測(cè)技術(shù)社區(qū),星球號(hào):63559049)里的學(xué)員問(wèn):哪些產(chǎn)品會(huì)用到電鍍工序,星主能總結(jié)一下嗎?

什么是晶圓電鍍?

晶圓電鍍(Electroplating)是一種通過(guò)電化學(xué)作用在晶圓表面沉積金屬薄膜的技術(shù)。其中Anode為陽(yáng)極,Cathode為陰極,晶圓固定在陰極上,陰陽(yáng)極之間充滿了電鍍液。以鍍銅為例,電鍍液中含有Cu2?,當(dāng)通電后,整個(gè)電路導(dǎo)通,Cu陽(yáng)極溶解為Cu2?,進(jìn)入電鍍液中,電鍍液中的Cu2?在電流的作用下,沉積到陰極的晶圓表面。

晶圓電鍍的鍍種有哪些?

晶圓電鍍一般有Cu,Ni,錫,金,鎢,鈷等。

晶圓電鍍的特點(diǎn)?

1,濕法工藝,2,金屬沉積速度很快3,成本相對(duì)較低

關(guān)于SEMIBAY芯灣展,分為展會(huì)+論壇,共有二十大論壇,其中展會(huì)和開(kāi)放論壇是免費(fèi)的,另有6場(chǎng)閉門(mén)付費(fèi)論壇,Tom在其中的兩場(chǎng)閉門(mén)論壇有講演,歡迎來(lái)看展。

 

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