在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中，RFQ（Request for Quotation）制定、新機(jī)臺(tái)的move in、裝機(jī)、final test、parts管理、PM（預(yù)防性維護(hù)）能力以及Troubleshooting（故障排除）能力都是至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。以下是對(duì)這些術(shù)語(yǔ)的解釋：

RFQ（Request for Quotation）制定：

RFQ是指向設(shè)備供應(yīng)商發(fā)出報(bào)價(jià)請(qǐng)求文件。在晶圓制造設(shè)備采購(gòu)過(guò)程中，RFQ制定的工作包括詳細(xì)定義所需設(shè)備的技術(shù)規(guī)格、性能要求、交貨時(shí)間、服務(wù)支持等內(nèi)容。RFQ的目的是確保潛在供應(yīng)商能夠提供符合工廠需求的設(shè)備，并且可以比較不同供應(yīng)商的報(bào)價(jià)，從而做出最佳采購(gòu)決策。

新機(jī)臺(tái)的Move In：

Move In指的是將新采購(gòu)的設(shè)備運(yùn)輸并搬入工廠指定位置的過(guò)程。在半導(dǎo)體制造中，這個(gè)過(guò)程通常需要精密的規(guī)劃和執(zhí)行，以確保設(shè)備在搬運(yùn)過(guò)程中不會(huì)受損，并且能夠順利安裝在預(yù)定位置。

裝機(jī)（Installation）：

裝機(jī)是指新設(shè)備的安裝過(guò)程。對(duì)于復(fù)雜的晶圓制造設(shè)備，如離子注入機(jī)和RTP（快速熱處理）機(jī)臺(tái)，裝機(jī)過(guò)程通常包括機(jī)械安裝、電氣連接、系統(tǒng)校準(zhǔn)以及初步的設(shè)備調(diào)試。這一過(guò)程要求極高的技術(shù)能力，以確保設(shè)備能夠按照設(shè)計(jì)規(guī)范正常運(yùn)行。

Final Test：

Final Test是指設(shè)備安裝完成后進(jìn)行的最終測(cè)試，以確認(rèn)設(shè)備是否能夠達(dá)到預(yù)期的性能指標(biāo)。這些測(cè)試通常包括功能驗(yàn)證、工藝參數(shù)確認(rèn)、以及在實(shí)際生產(chǎn)條件下的試運(yùn)行。只有通過(guò)這些測(cè)試，設(shè)備才能正式投入生產(chǎn)使用。

Parts管理：

Parts管理涉及到對(duì)設(shè)備中使用的所有零部件的管理，包括備件的采購(gòu)、庫(kù)存管理、質(zhì)量檢測(cè)、以及替換周期的制定。有效的Parts管理可以確保設(shè)備在需要維護(hù)或出現(xiàn)故障時(shí)能夠迅速得到維修和恢復(fù)運(yùn)行。

PM能力（預(yù)防性維護(hù)能力）：

PM能力指的是對(duì)設(shè)備進(jìn)行定期維護(hù)和保養(yǎng)的能力，以預(yù)防潛在問(wèn)題并確保設(shè)備的持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。PM通常根據(jù)設(shè)備的使用情況和制造商的建議制定維護(hù)計(jì)劃，包括清潔、更換磨損部件、校準(zhǔn)等。PM的優(yōu)化能夠顯著減少設(shè)備的非計(jì)劃停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)線的整體效率。

Troubleshooting能力（故障排除能力）：

Troubleshooting能力是指在設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，能夠快速診斷問(wèn)題根源并采取有效措施解決問(wèn)題的能力。這項(xiàng)能力要求工程師對(duì)設(shè)備的原理和結(jié)構(gòu)有深刻的理解，能夠使用合適的工具和技術(shù)手段進(jìn)行診斷和維修，確保設(shè)備盡快恢復(fù)正常運(yùn)行。這些技能和能力在晶圓制造設(shè)備工程師的工作中至關(guān)重要，直接影響到生產(chǎn)線的穩(wěn)定性、產(chǎn)能和最終產(chǎn)品的質(zhì)量。歡迎加入交流群，備注姓名+公司+崗位。